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第413章 万兴刚想出改进的办法（第1页）

阉割版的出口光刻机，全部采用石英透镜。

石英有良好的光学性能，化学性能也很稳定，光科技运转的时候，能保证紫外光传输稳定。。石英透镜技术，早在五十年代就出现了。

鉴于制造技术，石英透镜多为球形或圆柱形，加工简单，能保证加工精度。实践中。

也有人把石英透镜制造成非球面形状。用在一些精度需求不高的地方。

光刻机精度要求高。

只有球面和柱形石英透镜才能满足精度要求。

石英透镜技术从五十年代出现，一直用到七十年代，中间有多次改良，改良幅度都不大。仍然是以球面和柱状为主。

石英透镜制造简单，缺点也“零六零”十分明显。首先。

使用石英透镜，容易引起球差、慧差和像散等光学问题，这些问题会造成成像失真，影响光刻机性能。限制了芯片精度。

同时。

因为石英透镜是球面状的，或者是柱状的，造成焦点深度相对较浅。

焦点深度和清晰成像范围成正比，焦点深度越浅，精细成像范围越小，限制了光刻机的性能。其次。

石英透镜工艺局限和设计局限，限制了它的最小加工精度。是用石英透镜，最小精度都是微米级。

除非有革命性的加工工艺进化，或者换一种材质的透镜。否则。

加工精度突破不了微米。

第三就是加工精度限制。

石英透镜表面是圆形的，或者是援助型的，看起来很圆滑。实际从微观角度观察，很难做到标准的圆。

肉眼看不出来，因为肉眼的精度有限，可一旦用在光刻机上，精度到微米级别，影响就很大。会导致成像不稳定，导致光学畸形。

出口的阉割版光刻机，用的都是石英透镜，因为成像不稳定和光学畸形，废品率就会很高。废品率高。

成本分摊到成品上。

造成芯片的成本普遍偏高。

第三是石英的光学折射率相对较高。

折射率高，就会产生折射效应和衍射效应，会造成成像模糊，在一定程度上影响精度。即使是这样。

对其他国家来说。

龙国出口的光刻机已经是非常先进，精度非常高，是他们短时间内难以企及的，不得不进口。要是有自我研发能力还好。

要是没有自我研发能力，一直以来进口，就会严重限制他们的工业发展，发展速度严重落后。龙国自己用的第一代光刻机，用的也是石英透镜，但加工技术不一样。

用的是抛物面透镜技术。

通过非球面镜改善相差，相比球面镜，柱镜片，抛物面透镜有更高的精度。

抛雾面透镜技术，相比球面透镜技术，复杂很多，加工难度高很多，加工成本也跟着上升。

导致抛物面透镜比球面透镜贵很多。同时。

抛物面透镜也不完美。

非球面，光线在进入透镜的时候，折射角度会有所变化，会导致曝光区域的光强度分布不均。

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